氣體計(jì)量在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中占有重要地位，一方面，新工藝和新技術(shù)等制約其發(fā)展的關(guān)鍵領(lǐng)域的突破，尤其是微電子技術(shù)的迅速發(fā)展，使微量氣體計(jì)量由機(jī)械式向智能化、模塊化方向發(fā)展，其應(yīng)用范圍得到了很大的擴(kuò)展；另一方面，隨著環(huán)境監(jiān)測(cè)、航空航天等應(yīng)用領(lǐng)域?qū)怏w計(jì)量準(zhǔn)確度要求的不斷提高，對(duì)氣體計(jì)量可靠校準(zhǔn)和溯源的研究越來(lái)越受到重視。

　　

　　微量氣體流量計(jì)對(duì)微量氣體的體積或質(zhì)量進(jìn)行準(zhǔn)確的測(cè)量是非常有意義的，在很多方面都有著廣泛的需求。比如化學(xué)催化產(chǎn)氫研究，需要準(zhǔn)確測(cè)量氫氣的體積；微生物厭氧發(fā)酵產(chǎn)氫或產(chǎn)甲烷研究，需要準(zhǔn)確測(cè)量氫氣或甲烷的體積；微生物有氧呼吸，需要準(zhǔn)確測(cè)量氧氣消耗的質(zhì)量等等。

　　

　　然而，對(duì)微量氣體體積或質(zhì)量的準(zhǔn)確測(cè)量，是一個(gè)現(xiàn)實(shí)難題。由于氣體量微?。▔毫^?。?。一般的流量計(jì)無(wú)法響應(yīng)；或者可以響應(yīng)，但是測(cè)量誤差較大。個(gè)別流量計(jì)可以用來(lái)測(cè)量微量氣體的體積，但是自動(dòng)化程度不夠，且受人為操作因素影響較大。

　　

　　微量氣體流量計(jì)測(cè)試準(zhǔn)確、設(shè)計(jì)緊湊，是為測(cè)量超小流量的氣體�